¥43,510.29 FMA-LP2612A
产品描述
"FMA-LP2600A系列质量流量控制器 在层流场中使用 差压原理来检测并控制质量流量。 流量计中的层流元件(LFE)迫使 气体进入层流状态(经过整流处理)。按照泊肃叶方程, 在这一区域体积流量 与压降呈线性 关系。使用差压传感器 测量LFE固定距离的 压降情况。同时结合气体的粘度 准确判定体积流量。 引入单独的绝对温度和压力传感器, 并根据一系列标准条件 修正气体流量。这种标准化 流量通常称为质量流量, 使用标准立方厘米/分钟(SCCM) 或标准升/分钟(SLM)等 单位表示。产品编号生成器