气体质量与体积流量控制器
适用于洁净气体

FMA-2600A 系列

气体质量与体积流量控制器

查看下面所有型号

下单

20多种气体校准，包括氦气、氧气、氖气、一氧化二氮、氮气、大气、氩气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氢气、丙烷、丁烷、异丁烷、乙烯、乙炔、氪气、氙气、六氟化硫
同时显示压力、温度、体积以及质量流量
简单易用的按钮界面
NIST 可溯源性标准
满量程范围：0.5 SCCM ~ 3000 LPM
常规响应时间：50 ~ 100 毫秒
常规量程比：100:1
位置不敏感
±0.8%读数精度
标配RS232

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产品描述

FMA-2600A系列质量与体积流量控制器在层流场中使用差压原则来确定和控制质量流速。流量计中的层流元件(LFE)迫使气体进入层流。泊肃叶方程规定，在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。使用压差传感器衡量LFE固定距离中的压力下降情况。同时结合气体的粘度准确判定体积流速。引入单独的绝对温度和压力传感器，并根据一系列标准条件纠正气体流速。这种标准流速俗称质量流速，并使用每分钟标准立方英尺(SCFM)或每分钟标准升(SLM)等单位表示。
该控制器采用连接到流体的真正比例阀，通过一体化PID回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 V输出（可选4 ~ 20 mA）和RS232通讯。可通过前面板键盘或RS232通讯调整气体选择功能和设定值。体积流量、质量流量、绝对压力以及温度均可以通过RS232连接查看或记录。同时，在距离为46 m (150')的同一串口连接上，最多可与26台设备进行多点通讯。
OMEGA FMA系列质量流量计

规格:
精度: ±（读数的0.8% + 满量程的0.2%）
重复性: 满量程的±0.2%
量程比： 100:1
控制响应时间: 100 ms
输入控制信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232
输出信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232
可选输入/输出: 4 ~ 20 mA, 0 ~ 10 Vdc
工作温度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)
零点偏移: 满量程的0.02%/°C
量程偏移: 满量程的0.02%/°C
湿度量程: 0 ~ 100% RH，无冷凝
附加流速: 满量程的2.4%
接液材质：303和302不锈钢、氟橡胶、硅酮RTV（橡胶）、玻璃强化型尼龙、铝、铜、410不锈钢、硅酮、玻璃；>250 SLM：416不锈钢和镍替换铜
最大压力
质量流量控制器: 145 psig
使用体积模式: 使用体积模式：近大气，建议最大15 psig。
体积流量计和控制器不保证超出流量计额定流量范围的质量流速的准确性。这些值仅适用于近大气压力条件。建议最大工作压力为15 psig
额定最小压差: 5 SLM 及以下: 5 psid; 10 ~ 250 SLM: 15 psid; 500 SLM: 5 psid; 1500 SLM: 10 psid
电源电流: 20 SLM及以下0.250 A；50 SLM及以上0.75 A（常规）
电源电压: 20 SLM及更小的设备12 ~ 30 Vdc；50 SLM及更大的设备24 ~ 30 Vdc
电气连接: 8针圆形迷你DIN

订购所有价格均为人民币税前价格，不包括13%增值税和运费！(指定型号)

产品编号产品描述

数量

产品描述

质量流量控制器

FMA-2601A

¥23,725.81

货期: 11 周

0.5 SCCM，10-32 UNF螺纹

FMA-2601A-I

¥24,409.57

货期: 11 周

0.5 SCCM，10-32 UNF螺纹，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2601A-I2

¥25,137.80

货期: 11 周

0.5 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2601A-P

¥28,723.35

货期: 11 周

0.5 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2601A-V2

¥24,409.57

货期: 11 周

0.5 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个0 ~ 5V输出

FMA-2601A-VOL

¥23,725.81

货期: 11 周

0.5 SCCM，10-32 UNF螺纹，体积流速为标准输出

FMA-2602A

¥23,725.81

货期: 11 周

1 SCCM，10-32 UNF螺纹

FMA-2602A-I

¥24,409.57

货期: 11 周

1 SCCM，10-32 UNF螺纹，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2602A-I2

¥25,137.80

货期: 11 周

1 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2602A-P

¥28,723.35

货期: 11 周

1 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2602A-V2

¥24,409.57

货期: 11 周

1 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个 0 ~ 5 V的输出

FMA-2602A-VOL

¥23,725.81

货期: 11 周

1 SCCM，10-32 UNF螺纹，体积流速为标准输出

FMA-2614A

¥21,096.41

货期: 5 周

2 SCCM，10-32 UNF螺纹

FMA-2614A-I

¥21,880.22

货期: 5 周

2 SCCM，10-32 UNF螺纹，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2614A-I2

¥22,513.95

货期: 5 周

2 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2614A-P

¥26,143.98

货期: 5 周

2 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2614A-V2

¥21,880.22

货期: 5 周

2 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个0 ~ 5 V的输出

FMA-2614A-VOL

¥21,096.41

货期: 5 周

2 SCCM，10-32 UNF螺纹，体积流速为标准输出

FMA-2615A

¥21,096.41

货期: 5 周

5 SCCM，10-32 UNF螺纹

FMA-2615A-I

¥21,880.22

货期: 5 周

5 SCCM，10-32 UNF螺纹，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2615A-I2

¥22,513.95

货期: 5 周

5 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2615A-P

¥26,143.98

货期: 5 周

5 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2615A-V2

¥21,880.22

货期: 5 周

5 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2615A-VOL

¥21,096.41

货期: 5 周

5 SCCM，10-32 UNF螺纹，体积流速为标准输出

FMA-2603A

¥19,806.72

货期: 5 周

10 SCCM，10-32 UNF螺纹

FMA-2603A-I

¥20,579.42

货期: 5 周

10 SCCM，10-32 UNF螺纹，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2603A-I2

¥21,257.62

货期: 5 周

10 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2603A-P

¥24,898.76

货期: 5 周

10 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2603A-V2

¥20,529.39

货期: 5 周

10 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个0 ~ 5V输出

FMA-2603A-VOL

¥19,806.72

货期: 5 周

10 SCCM，10-32 UNF螺纹，体积流速为标准输出

FMA-2616A

¥19,806.72

货期: 5 周

20 SCCM，10-32 UNF螺纹

FMA-2616A-I

¥19,479.65

货期: 5 周

20 SCCM，10-32 UNF螺纹，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2616A-I2

¥21,257.62

货期: 5 周

20 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2616A-P

¥24,898.76

货期: 5 周

20 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2616A-V2

¥20,529.39

货期: 5 周

20 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2616A-VOL

¥19,806.72

货期: 5 周

20 SCCM，10-32 UNF螺纹，体积流速为标准输出

FMA-2604A

¥23,542.37

货期: 5 周

50 SCCM，10-32 UNF螺纹

FMA-2604A-I

¥24,454.04

货期: 5 周

50 SCCM，10-32 UNF螺纹，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2604A-I2

¥25,121.12

货期: 5 周

50 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2604A-P

¥28,678.88

货期: 5 周

50 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2604A-V2

¥24,253.92

货期: 5 周

50 SCCM，10-32 UNF螺纹，两个0 ~ 5V输出

FMA-2604A-VOL

¥23,542.37

货期: 5 周

50 SCCM，10-32 UNF螺纹，体积流速作为标准输出

FMA-2617A

¥17,049.45

货期: 3 周

100 SCCM，1/8 FNPT连接

FMA-2617A-I

¥17,794.36

货期: 5 周

100 SCCM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2617A-I2

¥18,472.56

货期: 5 周

100 SCCM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2617A-P

¥22,102.58

货期: 5 周

100 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2617A-V2

¥17,733.21

货期: 5 周

100 SCCM的，1/8 FNPT，2个 0 ~ 5 V的输出

FMA-2617A-VOL

¥17,049.45

货期: 5 周

100 SCCM，1/8 FNPT，体积流速为标准输出

FMA-2618A

¥16,138.32

货期: 5 周

200 SCCM，1/8 FNPT连接

FMA-2618A-I

¥17,794.36

货期: 5 周

200 SCCM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2618A-I2

¥18,472.56

货期: 5 周

200 SCCM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2618A-P

¥22,102.58

货期: 5 周

200 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2618A-V2

¥17,733.21

货期: 5 周

200 SCCM，1/8 FNPT，2个 0 ~ 5 V的输出

FMA-2618A-VOL

¥17,049.45

货期: 5 周

200 SCCM，1/8 FNPT，体积流速为标准输出

FMA-2619A

¥17,049.45

货期: 5 周

500 SCCM，1/8 FNPT连接

FMA-2619A-I

¥17,794.36

货期: 5 周

500 SCCM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2619A-I2

¥18,472.56

货期: 5 周

500 SCCM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2619A-P

¥22,102.58

货期: 5 周

500 SCCM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2619A-V2

¥17,733.21

货期: 5 周

500 SCCM，1/8 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2619A-VOL

¥17,049.45

货期: 5 周

500 SCCM，1/8 FNPT，体积流速为标准输出

FMA-2620A

¥17,049.45

货期: 3 周

1 SLM，1/8 FNPT

FMA-2620A-I

¥17,794.36

货期: 5 周

1 SLM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2620A-I2

¥18,472.56

货期: 5 周

1 SLM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2620A-P

¥22,102.58

货期: 5 周

1 SLM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2620A-V2

¥17,733.21

货期: 5 周

1 SLM，1/8 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2620A-VOL

¥17,049.45

货期: 5 周

1 SLM，1/8 FNPT，体积流速为标准输出

FMA-2605A

¥17,049.45

货期: 5 周

2 SLM，1/8 FNPT

FMA-2605A-I

¥17,794.36

货期: 5 周

2 SLM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2605A-I2

¥18,472.56

货期: 5 周

2 SLM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2605A-P

¥22,102.58

货期: 5 周

2 SLM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2605A-V2

¥17,733.21

货期: 5 周

2 SLM，1/8 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2605A-VOL

¥17,049.45

货期: 5 周

2 SLM，1/8 FNPT，体积流速为标准输出

FMA-2606A

¥16,138.32

货期: 3 周

5 SLM，1/8 FNPT

FMA-2606A-I

¥17,794.36

货期: 5 周

5 SLM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2606A-I2

¥18,472.56

货期: 5 周

5 SLM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2606A-P

¥22,102.58

货期: 5 周

5 SLM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2606A-VOL

¥17,049.45

货期: 2 周

5 SLM，1/8 FNPT，体积流速为标准输出

FMA-2607A

¥17,049.45

货期: 5 周

10 SLM，1/8 FNPT

FMA-2607A-I

¥17,794.36

货期: 5 周

10 SLM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2607A-I2

¥18,472.56

货期: 5 周

10 SLM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2607A-P

¥22,102.58

货期: 5 周

10 SLM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2607A-V2

¥17,733.21

货期: 5 周

10 SLM，1/8 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2607A-VOL

¥17,049.45

货期: 5 周

10 SLM，1/8 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2608A

¥19,806.72

货期: 3 周

20 SLM，1/8 FNPT

FMA-2608A-I

¥20,579.42

货期: 5 周

20 SLM，1/8 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2608A-I2

¥21,257.62

货期: 5 周

20 SLM，1/8 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2608A-P

¥24,898.76

货期: 5 周

20 SLM，1/4英寸外螺纹焊接接头，带一体式正压切断阀

FMA-2608A-V2

¥20,529.39

货期: 5 周

20 SLM，1/8 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2608A-VOL

¥19,806.72

货期: 5 周

20 SLM，1/8 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2609A

¥22,469.48

货期: 2 周

50 SLM，1/4 FNPT

FMA-2609A-I

¥23,231.06

货期: 5 周

50 SLM，1/4 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2609A-I2

¥22,891.96

货期: 5 周

50 SLM，1/4 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2609A-V2

¥22,208.21

货期: 5 周

50 SLM，1/4 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2609A-VOL

¥22,469.48

货期: 5 周

50 SLM，1/4 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2610A

¥25,215.62

货期: 5 周

100 SLM，1/4 FNPT

FMA-2610A-I

¥26,049.47

货期: 5 周

100 SLM，1/4 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2610A-I2

¥26,727.67

货期: 5 周

100 SLM，1/4 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2610A-V2

¥26,016.12

货期: 5 周

100 SLM，1/4 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2610A-VOL

¥25,215.62

货期: 5 周

100 SLM，1/4 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2611A

¥24,846.81

货期: 11 周

250 SLM，1/2 FNPT

FMA-2611A-I

¥26,883.32

货期: 11 周

250 SLM，1/2 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2611A-I2

¥27,611.55

货期: 11 周

250 SLM，1/2 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2611A-V2

¥26,883.32

货期: 11 周

250 SLM，1/2 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2611A-VOL

¥26,249.60

货期: 11 周

250 SLM，1/2 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2612A

¥27,656.03

货期: 11 周

500 SLM，3/4 FNPT

FMA-2612A-I

¥28,289.75

货期: 11 周

500 SLM，3/4 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2612A-I2

¥29,017.98

货期: 11 周

500 SLM，3/4 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2612A-V2

¥28,289.75

货期: 11 周

500 SLM，3/4 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2612A-VOL

¥27,656.03

货期: 11 周

500 SLM，3/4 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2613A

¥31,358.32

货期: 11 周

1000 SLM，3/4 FNPT

FMA-2613A-I

¥32,131.02

货期: 11 周

1000 SLM，3/4 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2613A-I2

¥32,770.31

货期: 11 周

1000 SLM，3/4 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2613A-V2

¥32,131.02

货期: 11 周

1000 SLM，3/4 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2613A-VOL

¥31,358.32

货期: 11 周

1000 SLM，3/4 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2621A

咨询

货期:

1500 SLM，3/4 FNPT

FMA-2621A-I

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货期:

1500 SLM，3/4 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2621A-I2

咨询

货期:

1500 SLM，3/4 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2621A-V2

咨询

货期:

1500 SLM，3/4 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2621A-VOL

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货期:

1500 SLM，3/4 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2622A

¥42,676.44

货期: 11 周

2000 SLM，3/4 FNPT

FMA-2622A-I

¥43,360.20

货期: 11 周

2000 SLM，3/4 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2622A-I2

¥43,993.93

货期: 11 周

2000 SLM，3/4 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2622A-V2

¥43,360.20

货期: 11 周

2000 SLM，3/4 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2622A-VOL

¥42,676.44

货期: 11 周

2000 SLM，3/4 FNPT，体积流速作为标准输出

FMA-2623A

¥48,257.68

货期: 11 周

3000 SLM，1 1/4 FNPT

FMA-2623A-I

¥48,952.55

货期: 11 周

3000 SLM， 1 1/4 FNPT，一个4 ~ 20 mA输出

FMA-2623A-I2

¥49,630.75

货期: 11 周

3000 SLM，1 1/4 FNPT，两个4 ~ 20 mA输出

FMA-2623A-V2

¥48,952.55

货期: 11 周

3000 SLM，1 1/4 FNPT，两个0 ~ 5 V输出

FMA-2623A-VOL

¥48,257.68

货期: 11 周

3000 SLM，1 1/4 FNPT，体积流速作为标准输出

体积流量控制器

FVL-2601A

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货期:

0.5 SCCM，10-32 螺纹连接

FVL-2602A

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货期:

1 SCCM，10-32 螺纹连接

FVL-2614A

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货期:

2 SCCM，10-32 螺纹连接

FVL-2615A

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货期:

5 SCCM，10-32 螺纹连接

FVL-2603A

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货期:

10 SCCM，10-32 螺纹连接

FVL-2604A

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货期:

50 SCCM，10-32 螺纹连接

配件

FMA1600-C1

¥497.90

货期: 2 周

单端1.83米 (6英尺) 8针迷你DIN公连接器备用电缆

FMA1600-C1-25 FT

¥950.59

货期: 2 周

单端7.62米 (25英尺) 8针迷你DIN公连接器电缆

FMA1600-C2

¥599.26

货期: 4 周

双端1.83米 (6英尺) 8针迷你DIN公连接器电缆

FMA1600-C2-25 FT

¥1,122.92

货期: 4 周

双端7.62米 (25英尺) 8针迷你DIN公连接器电缆

FMA1600-C3

¥567.37

货期: 2 周

1.83米 (6英尺) 8针迷你公DIN至DB9 内螺纹适配器电缆

FMA1600-CRA

¥599.26

货期: 4 周

单端7.83米 (6英尺) 8针直角迷你DIN公连接器电缆

FMA1600-MDB

¥2,935.15

货期: 5 周

多点箱体

FMA1600-PSU

¥891.59

货期: 2 周

通用交流100 ~ 240 V输入 ~ 直流24 V输出电源适配器

FMA1600-E2

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货期:

220VAC to 24VDC Power Supply for 50 LPM or greater

管接头适配器用于10-32螺纹

FTNY-K210BN

¥66.04

货期: 6 周

尼龙材质，管内径1/16英寸至10-32 UNF公螺纹头

FTPP-K210NP

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货期:

聚丙烯材质，管内径1/16英寸至10-32UNF公螺纹头

FTNY-K230BN

¥66.04

货期: 2 周

尼龙材质，管内径1/8英寸至10-32UNF公螺纹头

FTPP-K230NP

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货期:

聚丙烯材质，管内径1/8英寸至10-32UNF公螺纹头

† 所有金额以RMB显示
注: 配备24 V直流通用电源、1.8m (6’)电缆、8针迷你DIN公连接器、操作手册及NIST证书标准设备针对空气进行了校准，校准压力0 ~ 1 LPM为5 psig、2 ~ 10 LPM为15 psig、20 ~ 100 LPM为30 psig、200 LPM及以上为50 psig。
如需定制校准，请将“-(*)”添加到型号中，无需支付额外费用。*指定定制校准的气体和入口/出口或背压。
校准仅在环境温度为21C (70ºF)的环境下进行。
如欲将标准RS232通讯接口替换为RS485，请将后缀“-RS485”添加到型号中，需支付额外费用。
标准输入为0 ~ 5V，如需可选4 ~ 20 mA输入，请将后缀“-IN”添加到型号中，无需支付额外费用。
标准输出标定为质量流速。要将体积流速设定为标准输出，请将后缀“-VOL”添加至到型号中，无需支付额外费用。在“-VOL”控制器中，控制回路设置为以体积为标准。
标准输出为0 ~ 5V，如需可选4 ~ 20 mA输出，请将后缀“-I”添加到型号中，需支付额外费用。
如需两个4 ~ 20 mA输出，请将后缀“-I2”添加到型号中，需支付额外费用。
如需两个0 ~ 5 V输出电压，请将后缀“V2”添加到型号中，需支付额外费用。
** 可选辅助输出与主输出使用相同的标度。如需备用输出标度，对于温度请将后缀“-T”添加到型号中，或对于压力将后缀“-P”添加到型号中，无需支付额外费用。
如需一体式正压切断阀，请将后缀“-P”添加到型号中，需支付额外费用。附带正压切断阀的型号提供¼”焊接VCR外螺纹接头。 20 SLM以下的型号均提供。
如需以SCFH标定的产品，请将后缀“-SCFH”添加至型号中。请以SCFH为单位指定期望量程，无需支付额外费用。
如需累加器选项，请将后缀“-TOT”添加到型号中，需支付额外费用。请指定分辨率
这是一款6位计数器。示例：使用1/100升分辨率对升累计计数时，最大计数为9999.99。使用1升分辨率对升累计计数时，最大计数为999999。

气体质量与体积流量控制器 适用于洁净气体

FMA-2600A 系列

气体质量与体积流量控制器
适用于洁净气体