产品描述
FMA5400A/5500A系列电子气体质量流量计可控制0~10 SCCM范围内高达100 SLM的多种气体的流量。FMA5400A/5500A利用通过加热管进行的热传递测量气体流量,可提供直接的气体质量流量测量值,并且无需对(规定限值以内的)气体温度或压力进行补偿。 该产品可提供经济型铝/铜结构,适合测量普通气体流量,同时可提供316不锈钢结构,适合有更高耐腐蚀要求的应用。不带一体式显示屏的FMA5400A系列流量计具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模拟量输出,以便进行远程监测;FMA5500A系列流量计兼具一体式3-1/2位数字显示屏和模拟量输出。显示屏可倾斜90度,查看读数方便。显示屏经过校准,可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流量(您可以通过专门订购来获得其它气体校准)。SLM | ≤9 | 10-30 | 50 | 60~100 | 200 | 500 | 1000 |
psid | 1.1 | 3.9 | 8 | 18.9 | 10 | 12 | 15 |
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